(매출증대) Display 세정공정 내 재순환 세정수의 DIW급 공급을 위한 분리막 기반 하이브리드 시스템 개발

문제점 진단

* 기업명 : 00티에스(유00)

․ 장비 노후화에 따른 DIW 저장고 및 이동로 내 박테리아 증식으로 불량률 증가(6.2%)

․ 반도체 세정장비 세정수 오염으로 인해 spray nozzle 막힘, 패널 생산 수율 감소, 설비가동률 감소에 의한 생산성이 감소하고 설비 교체 등 다수의 문제점 발생

해결방안도출

․ MOT교수진과 반도체관련 기업에 재직중인 원우들의 협업을 통해 원인을 파악하고 해결방안 도출

- 코팅된 DIW입자들이 물 얼룩으로 변화하는데, 분석 결과 유입된 DIW입자들이 박테리아 증식의 주요 원인으로 파악

- Display 세정수의 박테리아 제거를 위한 UV-분리막 하이브리드 시스템 기술/공정 확보

․ 개발된 기술을 적용하여 박테리아 99%이상 제거

․ 지도교수와 함께 개발된 기술을 기반으로 지적재산권 회피방안 제공 등의 특허 취득 전략 수립

핵심성과

정량성과

․ 양산에 따른 매출 확보: 2.8억원

․ 글로벌기술사업화: 1.9억원

․ 국책과제(기정원): 1.8억원

정성성과

․ Display 세정수의 박테리아 제거를 위한 UV-분리막 하이브리드 시스템 기술/공정 확보

․ 기술 자료 임치, 지식재산권(특허, 실용신안 등) 특허 2건 확보